Research Projects 페이지 | 한양대학교 Nanohybrid Thin Film 연구실

Nanohybrid Thin Film Lab

Research

Research Projects

Total 5건 1 페이지

5

On-going
유기-무기 하이브리드 다층분자막을 이용한 포지티브톤 고해상도 극자외선 건식 레지스트 소재 및 공정 개발

Period

2025.04 - 2029.12

Sponsor

산업통상자원부

연구책임자
4

On-going
초고해상도 패터닝을 위한 신개념 EUV 건식 레지스트 양산화(300mm) 기술 개발

Period

2024.07 - 2026.12

Sponsor

과학기술정보통신부

연구책임자
3

On-going
H3 (극한 스케일-극한 물성-이종 집적) 한계 극복 반도체 기술 연구 센터

Period

2023.09 - 2033.02

Sponsor

과학기술정보통신부

참여연구원
2

On-going
결정-비정질 나노콤포지트 극박막을 이용한 특이전도 소재개발

Period

2022.10 - 2027.06

Sponsor

과학기술정보통신부

참여연구원
1

On-going
수직 분자선 구조의 수직 분자설계된 유기-무기 다층분자막을 이용한 차세대 EUV 포토레지스트 소재 및 진공집적공정 개발

Period

2022.04 - 2026.12

Sponsor

과학기술정보통신부

연구책임자

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