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Nanohybrid Thin Film Lab
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Research Projects 카테고리
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On-going
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Total 5건
1 페이지
5
On-going
유기-무기 하이브리드 다층분자막을 이용한 포지티브톤 고해상도 극자외선 건식 레지스트 소재 및 공정 개발
Period
2025.04 - 2029.12
Sponsor
산업통상자원부
연구책임자
4
On-going
초고해상도 패터닝을 위한 신개념 EUV 건식 레지스트 양산화(300mm) 기술 개발
Period
2024.07 - 2026.12
Sponsor
과학기술정보통신부
연구책임자
3
On-going
H3 (극한 스케일-극한 물성-이종 집적) 한계 극복 반도체 기술 연구 센터
Period
2023.09 - 2033.02
Sponsor
과학기술정보통신부
참여연구원
2
On-going
결정-비정질 나노콤포지트 극박막을 이용한 특이전도 소재개발
Period
2022.10 - 2027.06
Sponsor
과학기술정보통신부
참여연구원
1
On-going
수직 분자선 구조의 수직 분자설계된 유기-무기 다층분자막을 이용한 차세대 EUV 포토레지스트 소재 및 진공집적공정 개발
Period
2022.04 - 2026.12
Sponsor
과학기술정보통신부
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